规格
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型号 | VHX-S15F | |||
马达 | 5 相步进马达 | |||
定位精度 | 6 ?m*1 | |||
重复精度 | ±0.5 ?m*1 | |||
平台移动量 | 15 mm | |||
分辨率 | 0.05 ?m / 脉冲 | |||
载重 | 5 kg | |||
额定 | 电源电压 | 100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
额定值 | 功率消耗 | 70 VA | ||
环境抗耐性 | 环境温度 | +5 至 +40 °C | ||
相对湿度 | 35 至 80 % RH (无凝结) | |||
重量 | 3.2 kg | |||
*1 电动载物台的定位精度和再现性规格 | ||||
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型号 | VHX-S15F | |||
马达 | 5 相步进马达 | |||
定位精度 | 6 ?m*1 | |||
重复精度 | ±0.5 ?m*1 | |||
平台移动量 | 15 mm | |||
分辨率 | 0.05 ?m / 脉冲 | |||
载重 | 5 kg | |||
额定 | 电源电压 | 100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
额定值 | 功率消耗 | 70 VA | ||
环境抗耐性 | 环境温度 | +5 至 +40 °C | ||
相对湿度 | 35 至 80 % RH (无凝结) | |||
重量 | 3.2 kg | |||
*1 电动载物台的定位精度和再现性规格 | ||||
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